近日，河海大學(xué)蘇州研究院仿生機(jī)器人技術(shù)團(tuán)隊(duì)與企業(yè)緊密合作，研發(fā)“真空環(huán)境超潔凈晶圓傳送機(jī)械臂”，并在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重要應(yīng)用，突破了我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造的“卡脖子”問題，為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主創(chuàng)新能力提升提供核心支撐。
　　
　　“真空環(huán)境超潔凈晶圓傳送機(jī)械臂”被稱為半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線的“神經(jīng)中樞”，廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備，其性能直接決定芯片制造的精度與效率。該類設(shè)備長(zhǎng)期被日美企業(yè)壟斷，且被列入禁運(yùn)產(chǎn)品目錄，嚴(yán)重影響產(chǎn)業(yè)鏈安全。
　　
　　機(jī)械系統(tǒng)采用集成化驅(qū)動(dòng)與磁流體密封技術(shù)，解決了真空環(huán)境下的潔凈度控制難題；基于國(guó)產(chǎn)操作系統(tǒng)構(gòu)建的實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)納秒級(jí)響應(yīng)精度；創(chuàng)新研發(fā)的誤差補(bǔ)償算法，將機(jī)械臂重復(fù)定位精度控制在±0.05mm，水平方向振動(dòng)降至0.2g，各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平……目前，歷經(jīng)多輪技術(shù)迭代，該成果已實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)關(guān)鍵突破。
　　
　　目前，該機(jī)械臂已成功導(dǎo)入多家行業(yè)標(biāo)桿企業(yè)，在薄膜沉積、刻蝕等關(guān)鍵制程中穩(wěn)定運(yùn)行，設(shè)備工藝適配性獲客戶高度認(rèn)可，累計(jì)實(shí)現(xiàn)銷售收入約1300萬元。未來，團(tuán)隊(duì)將聚焦5G通信、人工智能芯片等高端應(yīng)用領(lǐng)域，提供定制化傳輸解決方案。